尺寸

控温范围

加热精度

加热时间

加热控制器：

定时器

报警：

气动压力

电压数：

YBHP-4-12

设备尺寸
520*630*150mm
控温平台尺寸
450mm*550mm

常温～+180℃

（200℃～300℃
±2℃订制）

±1℃

任意设定1-999min

Honeywell

OMRON

三色报警

4-8kg/cm2

220v/50Hz

YBHP-6-8

YBHP-8-4

YBHP-12-2

优点：

1. 加热平台使用特殊高分子材料防贴涂层（防止胶贴附，且便于清洗，台面用酒精轻轻擦拭即可）
2. 单次加热片数4英寸---12片，6英寸---8片，8英寸---6片12英寸---2片。
3. 加热器：内嵌式合金加热组片，加热速度快，恒温稳定。
4. 气动升降：气泵采用（SMC,FESTO气泵）高度范围 15mm高度
   限位器：耐高温氟树脂(300℃)，定位多种尺寸晶圆（防止碰撞，便于拿取）
5. 升降顶针：合金材质，支撑晶圆（复位和抬升）

选配件

无尘净化隔离罩

备注

-4代表几寸晶圆片， -12代表晶圆一次烘烤片数